ファブリケーションライン内の湿度と戦うのはやめましょう。
正直に言って、リンス工程では温度管理が最も難しい部分です。水分を素早く取り除こうとしますが、ウェーハが汚染されないように注意しなければなりません。これは難しいバランス取りであり、結局は頭痛の種になります。
そのため、私たちは防水機能付きの赤外線ランプを使用しています。これらは普通のヒーターとは異なり、湿気の多い環境でも問題なく動作します。
正確なデータの取得
「スマートファブ」を実現するためには、古式のサーモスタットに頼るわけにはいきません。それらはあまりにも非効率的です。
私たちが開発したIRシステムは、デジタルシステムと連携して動作します。ワット数や電圧を調整することで、熱がどのように流れているかを把握できます。これにより、PLCはリアルタイムのデータを得ることができ、温度が下がる場所を正確に把握し、適切に電力を調整することができます。
過酷な環境に対応する設計
水と高電圧は相性が悪いことは周知の事実です。安全を確保するため、各ランプの端子や配線接続部を密閉し、水分が入らないようにしています。また、クォーツ製のケースも処理して、リンス液に含まれるミネラルが付着しないようにしています。
さらに、ここには頑丈なコネクタが使われており、化学物質の蒸気にさらされても緩んだり腐食したりすることはありません。
課題：加熱と冷却のバランス
問題は、高密度のIRランプは大量のエネルギーを急速に放出するという点です。これは乾燥には有効ですが、筐体の冷却システムに大きな負担をかけます。
もし、床面積を節約するためにランプを近づけすぎると、制御用の電子機器が壊れてしまいます。排気ファンやヒートシンクが十分に強力であることを確認する必要があります。
PIDループに接続すれば、すべてがスムーズに動作します。サイクルタイムが短縮され、無駄が減り、全体の稼働がスムーズになります。