
अपने वेफर सफाई उपकरणों को नुकसान से बचाएं
ईमानदारी से कहें तो, केमिकल सफाई क्षेत्र में आईआर हीटिंग लैंपों का उपयोग करना तो आग से खेलने जैसा ही है। जब वहाँ ज्वलनशील पदार्थ मौजूद होते हैं, तो एक छोटी सी चिंगारी या लीकेज भी बड़ी आपदा का कारण बन सकता है।
हम ऐसे लैंप बनाते हैं जो ऐसी स्थितियों का सामना कर सकें, ताकि आपको रात भर चिंता करने की आवश्यकता ही न पड़े।
लीकेज को रोकना
सबसे बड़ा खतरा तो केमिकल वाष्पों का विद्युत टर्मिनलों में घुसना है। इसे रोकने हेतु, हम लैंपों को केवल “सील” ही नहीं करते; बल्कि उन्हें कई परतों से ढक देते हैं। हम लैंपों के छोरों पर ऐसे रसायन-प्रतिरोधी पदार्थों का उपयोग करते हैं, ताकि ज्वलनशील गैसें अंदर न जा सकें।
और चूँकि हम क्वार्ट्ज ग्लास पर विशेष कोटिंगें लगाते हैं, इसलिए बाहरी सुरक्षा व्यवस्था के बावजूद भी आपको आवश्यक ऊष्मा मिलती रहती है।
ऊष्मा से निपटना
यहाँ निरंतरता ही सब कुछ है। यदि वेफर पर कहीं गर्मी जमा हो जाए, तो समस्या हो जाती है। हम परिशुद्धता से तैयार किए गए फिलामेंटों का उपयोग करते हैं, ताकि ऊष्मा संतुलित रहे।
लेकिन यहाँ एक समस्या है – गर्म होने पर सामग्रियाँ फैल जाती हैं। यदि सील एवं क्वार्ट्ज ट्यूब एक ही दर से न फैलें, तो सील टूट जाती है। और जब सील टूट जाती है, तो लैंप काम करना बंद कर देता है। हमने इन सामग्रियों की विस्तार-दरों कोई समान रखा है, ताकि लैंप तेज गर्मी/ठंड की स्थितियों का सामना कर सके।
विनिमय
लेकिन इसका एक नुकसान भी है। इतनी सुरक्षा व्यवस्था के कारण लैंप थोड़ा बड़ा हो जाता है। आपको पता चलेगा कि ऊष्मा-स्रोत वेफर से थोड़ी दूर ही है… यह तो छोटा ही अंतर है, लेकिन यह महत्वपूर्ण है।
आपको अपने PID ट्यूनिंग एवं पावर सेटिंग्स में थोड़ा बदलाव करने की आवश्यकता है, ताकि इस छोटे अंतर की भरपाई हो सके।
अंत में, हमने ऐसे लैंप बनाए हैं जो खराबकारीपूर्ण वायुओं का सामना कर सकें, एवं बिजली को ठीक वहीं रख सकें जहाँ उसे होना चाहिए। आपको ऐसा ही उत्पाद मिलेगा, जो सभी सुरक्षा मानकों को पूरा करता है, एवं आपकी प्रक्रिया के लिए आवश्यक ऊष्मा भी प्रदान करता है।