समय बर्बाद करना बंद करें: सेमीकंडक्टरों के उपचार हेतु वैक्यूम आईआर हीटिंग ही सबसे अच्छा विकल्प है।
यदि आप अभी भी सेमीकंडक्टरों के उपचार हेतु गर्म हवा का उपयोग कर रहे हैं, तो आप शायद बहुत अधिक समय बर्बाद कर रहे हैं… केवल इंतजार करने में ही।
वैक्यूम आईआर हीटरों का उपयोग करना कोई “शानदार अपग्रेड” नहीं है… बल्कि यह वास्तव में वेफरों पर ऊष्मा पहुँचाने का एक बिल्कुल अलग तरीका है। सोचिए… फोर्स्ड एयर के लिए ऊष्मा पहुँचाने हेतु गैस की आवश्यकता होती है… लेकिन वैक्यूम में ऐसी गैस ही नहीं होती। आईआर हीटर फोटॉनों का उपयोग करके सीधे ही ऊष्मा पहुँचाता है… किसी मध्यस्थ की आवश्यकता ही नहीं है।
गति ही यहाँ महत्वपूर्ण है।
गर्म हवा का उपयोग करने पर ऊष्मा पहुँचाने में काफी समय लगता है… पहले हवा गर्म होती है, फिर दीवारें… और अंत में ही वेफर। लेकिन आईआर हीटर में ऊष्मा तुरंत ही वेफर तक पहुँच जाती है।
मैं इसे “समय-लागत में कटौती” कहता हूँ… चूँकि आईआर हीटर में स्विच चालू करते ही ऊष्मा पहुँच जाती है… इसलिए आपको इंतजार नहीं करना पड़ता। जब आप बड़े पैमाने पर उत्पादन कर रहे होते हैं, तो ये बचे हुए समय से आप और अधिक वेफरों का उपचार कर सकते हैं।
लेकिन आप कोई भी लैंप वहाँ नहीं लगा सकते।
वैक्यूम में काम करने हेतु विशेष उपकरणों की आवश्यकता होती है… हम क्वार्ट्ज एन्वलेप का उपयोग करते हैं… क्योंकि यह दबाव-अंतर को सहन कर सकता है… और यही तो मशीन के सुचारू रूप से काम करने हेतु आवश्यक है।
सबसे अच्छी बात यह है कि आपको छोटे स्थान में ही बहुत अधिक ऊष्मा प्राप्त होती है… आप ऊष्मा को सीधे ही वेफर तक पहुँचा सकते हैं… बजाय इसके कि पूरे वैक्यूम वाहन को गर्म करने में ऊर्जा बर्बाद करें।
लेकिन सावधान रहें… अपनी ऊर्जा-घनत्व पर ध्यान दें… यदि आपका लैंप संतुलित न हो, या वेफर ठीक से घूम न हो, तो ऐसी स्थिति में “हॉट स्पॉट” बन जाते हैं… जिससे वेफर खराब हो सकते हैं। आपको अपने PID कंट्रोलरों को भी ठीक से समायोजित करना होगा… वरना आपका लक्ष्य-तापमान पार हो जाएगा… और वेफर खराब हो सकता है।
निष्कर्ष: जब आप आईआर हीटर का उपयोग करते हैं, तो आप छोटे चैंबरों का उपयोग कर सकते हैं… और ऊष्मा पहुँचाने में कम समय लगेगा… हम तो कुछ ही सेकंडों में ही वेफरों को तापमान तक पहुँचाने की बात कर रहे हैं… न कि मिनटों में।
यह एक समझौता है… आप साधारण ब्लोअर फैन को त्याग देते हैं… लेकिन बदले में आपको विद्युत-चुम्बकीय विकिरण की सटीकता मिलती है… गहन उपचार हेतु, यही वह समझौता है जिसे हम स्वीकार करने को तैयार हैं।