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ज़ोन्डेड इन्फ्रारेड हीटिंग मॉड्यूल

ज़ोन्डेड इन्फ्रारेड हीटिंग मॉड्यूल

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, वेफर के तापमान में 1°C का बदलाव भी उसकी रेखाओं की मोटाई को नैनोमीटर स्तर पर प्रभावित कर सकता है; इसके अलावा, कणों की...
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