ファブフロアにおけるレーザーダイシングは、熱管理の厳格さにかかっている。これが不十分だとマイクロクラックが発生し、カーフテーパーが崩れ、ダイシング後の欠陥によってリソグラフィーやエッチングを問題なく通過したウェーハが不良となる。対策は一時的な応急処置ではなく、ダイシング工程の必要箇所に設置されたサ...

ウェーハは最終すすぎから出され、時計が動き始める。放置時間が長すぎたり、乾燥時に不均一な熱プロファイルを与えたりすると、溶媒の残留物が移動し始める。フォトレジストパターンが軟化し、クリティカルディメンション（CD）制御が乱れる。その結果は後でマップ上に現れる――一見すると偶然の失敗のようだが、実際...