ステンレス鋼ヒーター筐体製作

Role 現場では周知の通り：フォトレジストのベークプロファイルが0.5℃ずれるだけで、クリティカルディメンション（CD）制御が崩れ、バッチ全体がスクラップになる可能性がある。信頼できる熱、すなわち予測可能で再現性があり、クリーンな加熱が必要だ。 実際に重要なポイント ステンレス製ヒーターハウジン...