熱の無駄遣いをやめよう：ウェーハを効率的に加熱する方法 シリコンウェーハを加熱する際の問題点は、莫大なエネルギーが必要だということです。しかし、そのエネルギーのほとんどが、本来あるべき場所以外に散逸してしまいます。 一般的なIRランプは、あらゆる方向に熱を放ちます。つまり、360度全方位に熱が放出...

リソグラフィーの工程においては、焼成温度が0.5℃だけ変動しても、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。ウェーハ上のフォトレジストは、非常に厳しい温度管理が求められます。もしその条件を守れなければ、線幅の制御が崩れてしまいます。そこで、私たちは、シフトごと、サイクルごとにその条件を維持するた...