省エネ型ウェーハヒーター

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 正直に言って、高負荷の生産中にランプが壊れると、それは本当に大変なことです。単に部品を交換するだけでは済まされず、大混乱に陥ります。 石英管が破裂すると、ガラスの破片や化学物質がウェーハに降りかかります。これにより、そのロット全...