なぜ半導体の乾燥に金メッキ処理を施したツインチューブ型IRランプが使われるのか 半導体業界では、鉛フリーで排出ガスが出ない乾燥方法が求められています。これは難しい目標ですが、金メッキ処理を施したツインチューブ型IRランプを使うことで、その目標を達成する方法が見つかりました。 一般的な対流式オーブン...

リソグラフィー工程において、95℃での低温焼成時に、たとえ半度でも温度が変動するだけで、重要な寸法制御が乱れ、現像後に不良が発生し始めます。このようなばらつきを解決するためには、ツインチューブ式の赤外線ヒーターが最適です。このヒーターは、迅速かつ均一な熱をウェハーに与えることで、熱的均一性を維持し...