真空チャンバー用赤外線ヒーター

時間の無駄をやめよう：なぜ半導体の加工には真空赤外線加熱が最適なのか もし今も半導体の深層加工において熱風を利用しているのであれば、おそらく待つ時間だけで多くの時間が浪費されていることでしょう。 真空赤外線ヒーターに切り替えることは、単なる「高性能化」ではありません。実際には、ウェーハに熱を与える...