ウェーハ加熱の安全距離

加熱中にウェーハをきれいな状態に保つために もし、クラス100のクリーンルームで作業を行っているなら、その悩みはよく知っているはずです。ほんのわずかなほこりやガスが混入するだけで、製品全体が台無しになってしまいます。 問題は、一般的なIRランプは接着剤やコーティングで固定されており、それらが熱循環...