レーザーウェーハダイシングサポートヒーター

ファブフロアにおけるレーザーダイシングは、熱管理の厳格さにかかっている。これが不十分だとマイクロクラックが発生し、カーフテーパーが崩れ、ダイシング後の欠陥によってリソグラフィーやエッチングを問題なく通過したウェーハが不良となる。対策は一時的な応急処置ではなく、ダイシング工程の必要箇所に設置されたサ...