赤外線乾燥と対流乾燥のウエハ乾燥比較

ファブフロアでの重要性 ファブフロアでは、残された水分が1マイクロンでも歩留まりを損なう可能性があります。対流オーブンは、先進的なプロセスノードが要求する熱バジェットと粒子管理に追いつくことができません。ここでは、誤差の余地はありません。 実際に重要なこと 赤外線乾燥は、全体のチャンバー空気を温め...