팹의 세정 공정에서 습기와 싸우는 것을 그만두세요.
솔직히 말해서, 세정 단계는 열 관리가 가장 어려운 부분입니다. 빠르게 수분을 제거하려고 하지만, 웨이퍼가 오염되는 위험도 감수해야 합니다. 이는 균형을 맞추는 것이 매우 어려운 상황입니다.
그래서 우리는 방수 기능이 있는 적외선 램프를 사용합니다. 이 램프들은 일반적인 히터와는 다릅니다. 저희는 이러한 습한 환경에 적합하도록 램프들을 철저히 밀폐하여, 혼란스러운 상황에서도 단선이 일어나지 않도록 설계했습니다.
정확한 데이터 확보
“스마트 팹”을 목표로 한다면, 구식 온도 조절기에 의존할 수 없습니다. 그런 장비들은 너무 둔감합니다.
저희는 디지털 시스템과 연동될 수 있도록 적외선 시스템을 설계했습니다. 와트수와 전압을 조절함으로써, 세정 과정에서 열이 어떻게 분배되는지 파악할 수 있습니다. 그렇게 하면 PLC가 실시간 데이터를 받아볼 수 있으며, 온도가 낮아지는 부분을 정확히 파악하여 필요에 따라 전력을 조절할 수 있습니다.
혼란스러운 환경에도 견딜 수 있는 설계
물과 고전압 전기는 함께 사용하기에 매우 위험한 조합입니다.
안전을 위해, 모든 램프와 배선의 연결부를 철저히 밀폐하여 수분이 들어오지 않도록 했습니다. 또한 석영 커버도 처리하여 세정수로 인한 불순물이 쌓이는 것을 방지했습니다.
게다가, 여기에는 약한 연결부가 전혀 없습니다. 화학 물질이 있는 환경에서도 흔들리거나 손상되지 않는 튼튼한 연결부가 사용됩니다.
열과 냉각의 문제
문제는, 고밀도 적외선 램프는 엄청난 양의 에너지를 매우 빠르게 방출한다는 것입니다. 이는 건조하는 데는 유용하지만, 캐비닛의 냉각 시스템에 큰 부담을 줍니다.
바닥 공간을 조금이라도 절약하기 위해 램프들을 너무 가까이 배치하면, 제어 장치가 과열될 수 있습니다. 따라서 배기 팬과 방열판이 충분히 강력해야 합니다.
PID 루프에 연결하면 모든 것이 순조롭게 작동합니다. 처리 시간이 줄어들고, 낭비도 줄어들며, 전체 공정이 더 원활하게 진행됩니다.