3D 화염형 전기 히터
맑은 저녁에 밖으로 나가면 차가운 공기가 느껴집니다. 3D 불꽃형 전기 히터를 켜면 따뜻해지는 데 걸리는 시간이 줄어듭니다. 적외선 열은 공기의 속도가 아닌 빛의 속도로 전파되기 때문에, 마치 봄바람을 맞는 것처럼 즉시 따뜻함을 느낄 수 있습니다.
핵심 요소들 3D...
균일성을 위한 포토레지스트 건조 램프
첫 번째 건조 과정에서 포토레지스트의 형상이 결정됩니다. 웨이퍼의 온도가 5°C만 변해도 CD 값이 바뀌고, 오버레이 문제가 발생하며, 비용이 많이 드는 재작업이 필요해집니다. 이러한 불확실성을 없애기 위해 우리는 균일한 온도 조절이 가능한 포토레지스트 건조용 램프를...
태양광형 적외선 히터
실내 난방에는 보통 단점이 있습니다. 난방을 세게 틀면 몇 분 안에 공기가 매우 건조해집니다. 피부가 당기고 목이 따가워지며, 습도도 급격히 떨어집니다. 비록 온도계상으로는 괜찮다고 나와도 말입니다. 이건 여전히 같은 문제입니다: 따뜻한 공기이지만 불편한 공기입니다....
콤팩트형 방용 히터
핫요가 수업에서는, 방의 온도가 떨어지는 순간부터 모든 것이 엉망이 됩니다. 근육이 경직되고, 호흡도 불규칙해지며, 디톡스 효과도 사라집니다. 그러므로 스튜디오에는 빠르게 온도를 높이고, 일정한 온도를 유지할 수 있는 난방 장치가 필요합니다. 강제로 공기를 불어넣는...
정밀 온도 제어형 포토레지스트 가열기
리소그래피 공정에서는, 베이킹 온도가 0.5°C만 변동해도 전체 생산 물량이 폐기될 수 있습니다. 웨이퍼 위의 포토레지스트는 매우 민감한 온도 조건을 요구하기 때문에, 이 조건을 준수하지 못하면 선의 굵기를 제어할 수 없게 됩니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해...
온실 히터
온실에서는 공기의 상태가 매우 중요합니다. 온도가 약간만 내려가도 발아가 멈출 수 있고, 습기가 생겨서 몇 주에 걸쳐 신경 써서 키운 식물들이 망가질 수 있습니다. 집에서도 아기를 돌볼 때 마찬가지입니다. 공기를 건조시키지 않으면서도 적절한 온도를 유지하는 것이 중요...
바닥난방기
뜨거운 샤워를 마치고 차가운 바닥에 발을 디디는 것은, 그동안 누렸던 편안한 순간을 망치는 가장 쉬운 방법입니다. 욕실에서는 따뜻함이 사치가 아니라 일상적으로 필요한 것입니다. 중요한 것은, 수증기로 가득한 욕실에서도 전기 안전성을 해치지 않으면서 즉각적이고 부드러운...
데스크탑 전기 히터
어떤 난방기를 봐도 모두 비슷해 보입니다. 허접해 보이는 플라스틱 외관, 과장된 광고 문구들, 그리고 처음에는 강력하게 작동하지만 시간이 지나면 성능이 떨어지는 난방기들 말입니다. 기업이나 전문 사용자들에게 이러한 불확실성은 단순히 짜증나는 문제가 아닙니다. 돈과 시...
CMP 후 웨이퍼 건조 히터
팹 플로어에서는 CMP 처리 후에 발생하는 단 한 개의 물 자국만으로도 연마 과정을 거친 칩이 망가질 수 있습니다. CMP 처리 후 웨이퍼를 건조시키는 것은 단순히 좋은 선택이 아니라 필수적인 공정입니다.
히터의 성능이 불안정해지면 온도의 균일성도 해치게 됩니다. 표...
호트 플레이트 대체용 적외선 히터
제조 현장에서는, 단 0.2°C라는 작은 온도 변화만으로도 포토레지스트의 성능이 크게 저하될 수 있습니다. 그로 인해 웨이퍼의 가공 결과도 엉망이 될 수 있습니다. 웨이퍼는 온도 변동을 용납하지 않습니다. 그래서 우리는 실제 환경에 맞는 적외선 히터를 개발했습니다....
듀얼 튜브형 적외선 가열 램프
리소그래피 공정에서는 95°C로 약하게 가열하는 과정에서 온도가 반도그레이드만큼만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 이때 현상 과정 후에 웨이퍼 표면에 이상한 얼룩이 생기게 됩니다. 이러한 문제를 해결하기 위해서는 쌍관형 적외선 가열 램프가 가장 효과적입...
친환경 히터
지하실의 공기는 차갑고 무거워서 그대로 남아 있습니다. 강제 환기 시스템은 마치 헛돌듯이 작동하여 열을 내보내지만, 그 열도 금방 사라져서 벽과 바닥은 여전히 축축한 상태가 됩니다. 단순히 따뜻함만으로는 부족합니다. 습기를 제거하면서도 공간을 편안하게 만들어주는 것이...
호텔 객실 히터
추운 저녁 호텔 객실에 들어서면 빠르게 나타나고 고르게 느껴지며 전력 소모가 많지 않은 난방을 원한다. 적외선 난방에서는 좁은 고온 영역과 진정으로 쾌적한 공간을 만드는 차이가 주로 반사판에 의해 결정된다. 우리는 기하광학을 적용하여 반사판을 설계했으며, 이로 인해...
웨이퍼 건조를 위한 적외선 대 대류
공정 현장에서의 물 한 미크론이 수율에 미치는 영향 공정 현장에서 남아 있는 물 한 미크론이 수율을 저하시킬 수 있습니다. 대류 오븐은 고급 노드에서 요구하는 열 예산과 입자 관리를 따라갈 수 없습니다. 이곳에서는 오차의 여지가 없습니다. 실제 중요한 요소 적외선 건...
포토레지스트 건조 적외선 모듈
리소그래피 라인에서 포토레지스트 소프트 베이크 온도의 반도(0.5도) 미세한 변화만으로도 크리티컬 디멘션(CD) 제어가 규격을 벗어날 수 있다. 웨이퍼가 적체되고 불량률이 증가하며, 라인은 열적 불일치에 따른 비용을 부담하게 된다. 우리는 이러한 불확실성을 제거하기...