Tijdens het eerste bakproces wordt het profiel van de fotorezist vastgesteld. Een verschil van 5°C op het gewicht van de wafer zorgt voor afwijkingen in de CD-waarde, verpest de overlap tussen verschillende lagen en leidt tot kostbare herwerkingswerkzaamheden. We hebben een lamp ontworpen die ervoor zorgt dat de uniformiteit van de fotorezist behouden blijft.
Wat technisch belangrijk is We gebruiken halogeenlampen met korte golflengten, in combinatie met een reflector die is ontworpen om een uniformiteit van ±0,1°C op het niveau van de wafer te bereiken. De ingebouwde pyrometrie zorgt er vervolgens voor dat de temperatuur nauwkeurig wordt geregeld. De lamp is compatibel met schone ruimtes van klasse 1–100, dankzij materialen die weinig gas uitstoten en geen deeltjes produceren. De isolatie van carbonfiber zorgt ervoor dat de warmtestress laag blijft en de temperatuur snel stabiel wordt. De kwartsomhulling kan meerdere keren worden blootgesteld aan thermische cycli. Er kan wel 5.000 uur achter elkaar worden gewerkt, zonder dat de prestaties meer dan 5% dalen.
Waarom dit werkt Deze unit doet dienst als droger voor de wafer, voor het bakken van de fotorezist, voor het harden van de afgesloten producten en voor het reinigen. Hierdoor hoeven er geen nieuwe apparaten te worden gebruikt. De hoge uniformiteit zorgt voor minder problemen aan de randen van de wafer en verbetert daarmee de opbrengst. Het snelle bereiken van de gewenste temperatuur verkort de tijd die nodig is voor het proces, waardoor energieverbruik wordt verminderd en de productiecapaciteit toeneemt. De procesparameters kunnen beter worden beheerd, omdat de thermische condities nauwkeurig worden geregeld.
Wat je moet weten De lamp is compatibel met standaardinterfaceën, maar de geometrie van de reflector moet overeenkomen met de afmetingen van de wafer en het profiel van de chucks. Er zal kort testen nodig zijn om de PID-instellingen af te stemmen en de temperatuurcontrole te verzekeren. Het gebruik van de lamp bij temperaturen boven de maximale tolerantie van kwarts verkort de levensduur van de lamp. We raden aan om de temperatuur onder de 650°C te houden om een stabiele werking te garanderen.