Tek tip fotorezist pişirme lambası
İlk pişirme işlemi sırasında, fotoresist profili belirlenir. Wafer üzerindeki 5°C’lik bir değişiklik, CD değerlerini bozar, ürün kalitesini düşürür...
Hassas sıcaklıklı fotoğraf direnci ısıtıcısı
Litografi işlemlerinde, fırın sıcaklığında meydana gelen 0,5°C’lik bir değişiklik bile tüm ürün partisini bozabilir. Bu waferler üzerindeki...