可与真空环境兼容的红外加热器

如何充分利用真空环境中的加热效果 在真空环境中加热硅片时，存在一个问题：空气被排除了。没有空气就意味着没有对流作用，因此只能依靠辐射来传热。如果使用普通的反射器，大量的能量会直接流失到腔室壁中，这无疑是一种浪费。 为了解决这个问题，我们采用了金涂层。虽然听起来很复杂，但实际上目的很简单：防止热量流...