分区红外加热模块

在光刻过程中，晶圆上的温度变化只要1摄氏度，就可能导致线宽出现纳米级的差异；而微粒的存在则可能毁掉大量产品。因此，人们设计了分区式红外加热模块，以将温度控制在理想的范围内。 从技术层面来看，重要的是什么？ 短波红外发射器被安排在多个独立控制的区域中，这样就可以根据晶圆的不同部位来调整温度。在整个加...