热板替代型红外加热器

在光刻车间里，即使温度出现0.2℃的微小波动，也足以破坏光刻胶的均匀性，进而影响蚀刻效果。晶圆对温度稳定性要求极高。因此，我们设计了红外线加热器，使其能够实现精确控温：无温度偏差，加热效果可重复，同时还能满足洁净室的环境标准。 从技术角度来说，关键点在于： 我们使用短波红外线元件，让热量直接传递到...