工厂干燥设备的能源审计

如何处理晶圆干燥过程中的红外灯故障 说实话，当半导体生产厂中的红外灯发生故障时，那简直就是一场灾难。问题可不仅仅是更换一个部件那么简单。 当石英管在高压作用下爆裂时，碎片和杂质会溅到晶圆上。这样一来，晶圆的成品率就会下降，而工作人员则不得不花费数小时来清理设备。这确实是一团糟，没人愿意面对这种情况...