MEMS传感器晶圆烘干加热器

在用化学试剂清洗MEMS传感器晶圆之后，需要对其进行干燥处理，而这一过程离不开热量——而且需要尽快完成。但问题在于：在充满易燃溶剂的环境中进行加热处理，就如同在玩火一般危险。这并非比喻，而是真的有可能引发爆炸。 因此，我们使用专门的红外灯来完成任务。这类灯不会让工作环境变成危险地带。 保持密封性...