均匀性光刻胶烘烤灯

在第一步烘烤过程中，光阻的厚度会被设定下来。如果晶圆表面的温度波动达到5°C，那么就会导致CD值出现偏差，进而影响后续的工艺流程，同时还会造成昂贵的返工成本。我们设计的这种光阻烘烤装置，就是为了消除这种不确定性。 技术上的关键点 我们使用短波卤素灯，这些灯光被置于设计有±0.1°C精度控制的反射腔...