停止浪费热量：更有效的硅片加热方式 在加热硅片时，存在一个很大的问题：需要大量的能量，但其中大部分能量都浪费掉了，没有用于真正需要加热的地方。 普通的红外灯会将热量向各个方向散发，相当于360度全方位加热。这样做的结果就是，加工腔室的内部也会被加热。这不仅浪费了能源，还会让设备的外壳变成一个巨大的...

在光刻过程中，如果烘烤温度出现0.5℃的偏差，就足以导致整批产品报废。这些晶圆上的光阻对温度极为敏感，一旦温度控制不当，就会影响线宽的精确度。我们设计了高精度的温度控制加热器，以此来确保温度始终保持在理想范围内，无论是在不同的生产批次中还是不同的循环中。 关键所在 该加热器采用短波红外技术并结合直...