用于晶圆的精密红外传感器

停止浪费热量：更有效的硅片加热方式 在加热硅片时，存在一个很大的问题：需要大量的能量，但其中大部分能量都浪费掉了，没有用于真正需要加热的地方。 普通的红外灯会将热量向各个方向散发，相当于360度全方位加热。这样做的结果就是，加工腔室的内部也会被加热。这不仅浪费了能源，还会让设备的外壳变成一个巨大的...