なぜバイオセンサーの製造において、熱風を使わずに赤外線を利用するのか？ 半導体製造ラインで働いたことがある人なら、その手順はよくわかるでしょう。薄膜を硬化させたり、基板を乾燥させたりする際、古くから使われてきた熱風装置を待つしかありません。 問題は、熱風の効率が低いという点です。まず空気を温めなければならず、その後でその空気が部品を温める必要があります。これは不要な中間工程であり、各処理工程に余計な時間を費やす原因となります。 解決策：赤外線 赤外線ランプの利点は、空気を介さない点です。風によって物を温めるのを待つ代わりに、赤外線は電磁波を直接材料に当てるのです。バイオセンサーの製造では、特定の吸収帯を狙っています。赤外線が基板に当たると、ほぼ即座に熱に変わります。 対して強制対流型の加熱器は、大量のスペースを占め、加熱に時間がかかります。一方、赤外線を使えば、加熱にかかる時間を数分から数秒に短縮できます。より多くの製品を迅速に処理したい場合、この速さが何よりも重要です。 実際に使うためのポイント ただ適当な電球を使ってもダメです。正しく機能させるためには、短波または中波の発光体を使用する必要があります。これにより、バイオ活性層を適切に硬化させることができ、基板上のウェーハが損傷するのを防げます。 最も良い点は、通常、空気ノズルをこれらのランプに交換するだけで済むということです。非常に簡単な交換です。 しかし、出力密度には注意が必要です。小さな面積に対して過度な出力を与えると、センサーの有機層が焼けてしまいます。安定した加熱を維持するためには、高速なPID制御と正確な距離センサーが必要です。 実際のメリット 単に時間の節約だけではありません。スペースの節約も大きなメリットです。巨大なオーブンを取り除き、コンパクトなランプアレイに置き換えることができます。これにより、クリーンルームのスペースが大幅に節約されます。また、無菌のウェーハ全体に空気を送る必要がないため、汚染のリスクも大幅に減少します。 そして、エネルギーコストも下がります。部品だけを加熱すればよいので、部屋全体を温める必要はありません。