جلوگیری از انفجار ابزارهای تمیزکردن ویفرها
بیایید صادق باشیم: قرار دادن لامپهای گرمایشی در محیطهای شیمیایی، کاری مشابه بازی با آتش است. وقتی که حلالهای قابل اشتعال در اطراف وجود دارند، یک جرقه کوچک یا نشتی در بدنه لامپ، نه تنها یک مشکل فنی است، بلکه میتواند منجر به فاجعه شود.
ما لامپهای خود را طوری طراحی کردهایم که بتوانند با چنین فشارهایی کنار بیایند؛ تا شما نیازی نداشته باشید شبها نگران این موضوع باشید.
جلوگیری از نشتها
بزرگترین خطر، ورود بخارات شیمیایی به ترمینالهای الکتریکی است. برای جلوگیری از این امر، ما لامپها را فقط «بستهبندی» نمیکنیم؛ بلکه آنها را در پوششهای چندلایه قرار میدهیم. از مواد مقاوم در برابر مواد شیمیایی برای ایجاد دیوارهای استفاده میکنیم که گازهای قابل اشتعال نتوانند از آن عبور کنند.
همچنین، به دلیل استفاده از روکشهای خاص روی شیشه کوارتز، شما همچنان میتوانید گرمای لازم را دریافت کنید، حتی با وجود این حفاظتهای اضافی.
مقابله با گرما
در اینجا، یکنواختی بسیار مهم است. اگر نقاط گرمی روی ویفر ایجاد شود، مشکلاتی پیش خواهد آمد. ما از رشتههای فیلامنتی با دقت بالا برای حفظ یکنواختی گرما استفاده میکنیم.
اما مشکل اینجاست که مواد در هنگام گرم شدن، انبساط و انقباض میکنند. اگر بستهبندی و لوله کوارتز به همان نرخ حرکت نکنند، بستهبندی پاره خواهد شد؛ و در آن صورت، لامپ از کار خواهد افتاد. ما نرخهای انبساط و انقباض را به طور دقیق تنظیم کردهایم تا لامپ بتواند با چرخههای سریع گرم شدن و سرد شدن کنار بیاید، بدون اینکه مشکلی پیش آید.
تضادها
البته، یک مشکل وجود دارد: استفاده از این حفاظتها باعث میشود لامپ کمی بزرگتر شود. متوجه خواهید شد که منبع گرما کمی دورتر از ویفر قرار دارد؛ این فاصله کوچک است، اما اهمیت دارد.
شما فقط باید تنظیمات PID و توان لامپ را تغییر دهید تا این کاهش کوچک در گرمای مستقیم جبران شود.
در نهایت، ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند در برابر گازهای خورنده مقاومت کنند، در حالی که گرما را در جای مناسب نگه دارند. شما یک قطعه دریافت میکنید که میتواند مستقیماً در سیستم شما استفاده شود، تمام استانداردهای ایمنی را رعایت کند، و همچنان گرمای لازم برای فرآیند شما را فراهم کند.