IRランプが壊れる心配はもうしなくて済みます。 高負荷のファブでは、IRランプが爆発するというのは単なる面倒な問題ではありません。それは悪夢そのものです。一度爆発すれば、至る所にガラスの破片やハロゲンガスが散乱します。すると、大量のシリコンウェーハが廃棄処分になり、週末をその後片付けに費やさなけれ...

破片の発生を防ぐ：ヒーターが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 ウェーハ製造工場では、赤外線ランプが壊れると、単なる煩わしさや短時間の停止にとどまらず、大変な問題になります。 高負荷状態で石英管が破損すると、ただ動かなくなるだけでなく、シリコン上にガラスの破片や微粒子が飛び散ります。1台のラン...

ファブのアップグレードを安全に行うために：私たちの密封型赤外線ランプがどのようにしてクリーンルームの正常な運用を可能にするか ファブをアップグレードする際、安全性は決して軽視できない要素です。特に、可燃性のある洗浄剤を扱う場合はなおさらです。 そこで、私たちはこのような過酷な環境に適した赤外線加熱...