高温用テープ製造工場

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる「ウォームアップ」ではありません。これは、線幅を正確に制御するための重要な熱処理ステップです。0.5℃の温度変動だけでも、照射量が変わってしまいます。また、均一でない加熱領域では、斜めの壁面が形成され、その結果、レジストの剥離やエッチングの際に問...