ウェーハ洗浄用ツールが故障しないようにするために 正直に言って、IR加熱ランプを化学的な洗浄エリア内に置くのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性の溶剤が周囲にある状態では、わずかな火花や部品の漏れでも、単なる「技術的なトラブル」どころではありません。それは大災害につながります。 私たちは、そう...

化学的な洗浄処理の後にMEMSセンサーワッフルを乾燥させる際には、熱が必要です。しかも、できるだけ早く熱を与える必要があります。しかし問題は、可燃性の溶剤がある環境でそのような作業を行うことは、まるで火遊びのようなものです。比喩的な意味ではなく、実際に爆発する可能性があるという意味です。 そのため...

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 正直に言って、高負荷の生産中にランプが壊れると、それは本当に大変なことです。単に部品を交換するだけでは済まされず、大混乱に陥ります。 石英管が破裂すると、ガラスの破片や化学物質がウェーハに降りかかります。これにより、そのロット全...

なぜウェーハの硬化処理にはより優れた反射器が必要なのか もし依然として半導体の深層加工に熱風を利用しているのであれば、作業の流れが妨げられていることを感じているはずです。つまり、炉が適切な温度になるのを待つ間の無駄な時間のことです。 これは時間の無駄です。そして、この業界では時間こそがすべてです。...

熱の無駄遣いをやめよう：ウェーハを効率的に加熱する方法 シリコンウェーハを加熱する際の問題点は、莫大なエネルギーが必要だということです。しかし、そのエネルギーのほとんどが、本来あるべき場所以外に散逸してしまいます。 一般的なIRランプは、あらゆる方向に熱を放ちます。つまり、360度全方位に熱が放出...

製造ラインでは、CMP処理後にわずかな水分が残っているだけで、研磨を経ても正常に動作しないチップができてしまいます。CMP処理後のウェーハの乾燥は、単なるオプションではなく、不可欠な工程です。 ヒーターの温度が不安定になると、表面張力によってウェーハ表面に傷ができ、その欠陥がリソグラフィ工程に影響...