スマートセンサーパッケージング 赤外線
なぜ、すべての赤外線センサー部品をテストするのか(そして、なぜそれが重要なのか) 私たちが赤外線システム用のスマートセンサーパッケージを出荷するとき、単純にランダムにサンプルを抽出するようなことはしません。箱から数本だけを選んで運良く問題がなければいいというわけではありません。それはギャンブルに過...
ウェーハ処理装置用温度センサー
ウェーハ洗浄用ツールが故障しないようにするために
正直に言って、IR加熱ランプを化学的な洗浄エリア内に置くのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性の溶剤が周囲にある状態では、わずかな火花や部品の漏れでも、単なる「技術的なトラブル」どころではありません。それは大災害につながります。
私たちは、そう...
MEMSセンサーワイヤー乾燥ヒーター
化学的な洗浄処理の後にMEMSセンサーワッフルを乾燥させる際には、熱が必要です。しかも、できるだけ早く熱を与える必要があります。しかし問題は、可燃性の溶剤がある環境でそのような作業を行うことは、まるで火遊びのようなものです。比喩的な意味ではなく、実際に爆発する可能性があるという意味です。
そのため...
ウェーハ用高精度IRセンサー
熱の無駄遣いをやめよう:ウェーハを効率的に加熱する方法
シリコンウェーハを加熱する際の問題点は、莫大なエネルギーが必要だということです。しかし、そのエネルギーのほとんどが、本来あるべき場所以外に散逸してしまいます。
一般的なIRランプは、あらゆる方向に熱を放ちます。つまり、360度全方位に熱が放出...