工場乾燥工程のエネルギー診断

ウェハ乾燥装置におけるランプの破損対処法 正直に言って、半導体製造工場で赤外線ランプが壊れてしまうと、それは本当に厄介な問題です。単に部品を交換するだけでは解決しません。 石英管が過度な負荷によって破裂すると、破片や微粒子がウェハに飛び散ります。そうなると、製品の歩留まりは激減し、作業員は何時間も...