열을 낭비하지 마세요: 웨이퍼를 더 효과적으로 가열하는 방법 실리콘 웨이퍼를 가열할 때의 문제점은 엄청난 양의 에너지가 필요하다는 것입니다. 하지만 그 에너지의 대부분은 원래 가야 할 곳이 아닌 다른 곳으로 소모됩니다. 일반적인 적외선 램프는 모든 방향으로 열을 방출...

리소그래피 공정에서는, 베이킹 온도가 0.5°C만 변동해도 전체 생산 물량이 폐기될 수 있습니다. 웨이퍼 위의 포토레지스트는 매우 민감한 온도 조건을 요구하기 때문에, 이 조건을 준수하지 못하면 선의 굵기를 제어할 수 없게 됩니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해...