为什么我们在芯片制造厂中使用金制反射器
如果您曾经在半导体制造业工作过，那么您一定知道其中存在的挑战。哪怕温度有微小的变化，晶圆就可能会变形。更糟糕的是，污染问题还可能毁掉整批产品。因此，保持精确度是一项持续不断的挑战。
为了解决这个问题，我们使用了红外灯。但真正的关键并不在于灯光本身，而在于包裹在灯光周围的金制反射器。这些反射器能够将热量直接导向需要加热的区域，而不是让热量散失到其他地方。
金制反射器的优势
大多数人首先会考虑使用铝制反射器，因为它们价格便宜。但问题在于，铝会吸收大量红外能量。而金则完全不同——它在红外光谱范围内能反射超过98%的能量。也就是说，灯丝产生的每一瓦特能量几乎都被有效利用了。这样一来，就能得到更加集中的热源，从而更快达到目标温度。此外，当需要快速升温时，系统也不必长时间运行，这样每块晶圆所需的电能自然也就减少了。很简单吧。
阻止热量泄漏
如今，人们越来越重视“绿色工厂”和碳足迹的问题。在芯片制造厂中，最耗能的往往是暖通空调系统。因为要处理来自低效加热器的热量。而使用金制反射器后，就可以避免热量泄漏到机器内部。这样既节省了电能，又减轻了冷却系统的负担。这样一来，自然就能降低能源成本了。
当然，也有缺点
不过，我并不是说金制反射器是解决所有问题的万能方案。它的成本非常高，远远高于抛光铝材。而且，它也需要定期清洁，否则其反射率就会下降。一旦表面沾上灰尘或污垢，晶圆上就会出现热点，之前所取得的效率提升效果也会消失。如果维护团队不能及时进行清洁工作，那无疑是在浪费金钱。最好把金制反射器用于高产量生产线，因为只有在那些地方，其带来的节能效果才能真正体现出来。