高温热胶带生产厂

在光刻车间中，光阻的烘烤过程并非简单的“预热”步骤，而是一个决定线条宽度的关键工艺环节。温度变化0.5摄氏度就可能导致光照剂量出现偏差；如果加热不均匀，就会使得晶圆表面的侧壁出现倾斜，这会在后续的光阻去除和蚀刻工序中带来问题。我们设计的这种高温加热系统正是为了解决这些问题：它能将晶圆在整个表面范围...