状況が不安定になったときでも、ファブを安全に保つ方法
半導体ファブを運営している人なら、その厳しさはよく理解しているでしょう。化学的な洗浄処理は必要ですが、可燃性の溶剤を扱う場合は大変な問題です。
問題点は、一般的なIRランプはそのような環境では危険だということです。わずかな火花やクォーツ管の微細な亀裂だけで、爆発の危険が生じます。これは、工場の管理者を夜も眠れない状態にするようなリスクです。
だからこそ、単純にランプをそこに置いておくだけでは不十分です。私たちは特殊な密封構造を用いて、あらゆる危険を防ぎます。
密封構造の仕組み
単にランプをプラスチックで覆うだけではありません。それはまるで防御用の要塞のようなものです。
まず、加熱要素は高純度のクォーツ製の容器の中に入っています。その後、その容器を化学的に耐性のあるもう一つのケースに入れます。これにより、腐食性のある物質が密封構造を破壊してしまうことがありません。
また、耐久性の高いガスケットや防爆コネクタも使用されています。そうすれば、蒸気が内部に入ることはありません。もし管が壊れてしまったとしても、封入されているハロゲンガスやフィラメントの破片が外部の空気と反応することはありません。これは実際に効果的な安全装置です。
熱対策
しかし、層を重ねると、熱の流れが変わってしまいます。ランプを覆うと、熱の伝達が変わってしまうのです。
この問題を解決するために、ワット数や電圧を調整します。そうすることで、追加の保護機能があっても、基板が必要な温度に到達できるようになります。
しかし、「熱の蓄積」には注意が必要です。密封構造によって熱が閉じ込められるため、配線やブラケットが損傷する可能性があります。溶融や破損を防ぐために、PTFEコーティングされた配線や強化アルミニウム製のヒートシンクを使用することをお勧めします。これにより、システム全体が冷却され、安定した状態を保てます。
ファブ内での使用
最良の点は、これらは通常のIRアレイの代替品として使えるということです。
電源が少し高い負荷に耐えられれば、問題ありません。そうすれば、高温での洗浄処理を行っても安心です。ファブ内の環境が火花を引き起こす心配はありません。