半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

クリーンルームを本当に清潔に保つために：石英ヒーターの真実 半導体製造のクリーンルームでは、「わずかなほこり」など存在しません。もしヒーターから1マイクロメートルでもほこりが出てしまったら、ウェハーは破壊されてしまいます。そう簡単なのです。 だからこそ、私たちはトロリーヒーターとして一般的なガラス...