半導体ヒーター用熱電対

IR半導体ヒーターを使って適切な温度を維持するにはどうすればよいのか？ 工場の二酸化炭素排出量を削減したいのであれば、赤外線（IR）ヒーターを使用するのが賢明です。オーブン全体を加熱してウェーハ周辺の空気まで温めるのではなく、IRヒーターは直接対象物を加熱します。 しかし、問題点もあります。単に設...