双管镀金灯管
为何选择镀金双管红外灯用于半导体烘干?
在半导体领域,人们一直在努力实现无铅、零排放的烘干方式。这确实是个艰巨的目标,但我们找到了办法——那就是使用镀金双管红外灯来实现这一目标。
想象一下普通的对流式烤箱:它通过加热空气来加热工件,但这种方式效率很低,而且通常需要化学溶剂或强力风扇来推动空气流动。...
双管红外加热灯
在光刻过程中,如果烘烤温度出现哪怕半度的偏差,都会影响到关键尺寸的控制,进而导致显影后出现瑕疵。双管式红外线加热灯可以有效解决这一问题。它能够以快速的方式向晶圆传递热量,从而保持稳定的温度,确保每批光刻胶的性能都保持一致。
关键点在于:
该灯采用双管结构,利用短波红外线来加热晶圆,从而实现高辐射密...