晶圆加热的安全距离

如何在加热过程中保持晶圆洁净无瑕？ 如果你在100级洁净室中工作，那么你一定知道：哪怕有一点点灰尘或气体泄漏，整个批次的产品都会报废。 问题在于，普通的红外灯通常由某种粘合剂或涂层固定在一起，而这些材料在受热后会脱落。这样一来，灯就会释放出微粒，从而污染晶圆。因此，我们选择使用高纯度的合成石英来制...