洁净室烤箱红外线加热器

既然可以直接加热晶圆，为什么还要继续加热空气呢？ 大多数半导体制造工厂仍然依赖强制空气对流来加温。这个过程非常缓慢：先加热空气，再让空气去加热整个腔室，最后才能让晶圆变热。这种做法需要等待很长时间。 我们更喜欢使用红外线加热器，因为它们可以省去中间环节。 时间就是关键。 强制空气对流效率很低，而红...