3Dフレーム式電気ヒーター
気持ちの良い夕方に外に出ると、空気がとても冷たく感じられます。しかし、3Dフレーム式の電気ヒーターを使えば、暖かくなるのを待つ必要はありません。赤外線による温みは光速で伝わるため、ほぼ瞬時に暖かさを感じることができます。まるで春風に包まれているような感覚です。
ヒーターの仕組み 3Dフレーム式の電...
均一性フォトレジストベイクランプ
この装置では、最初の焼成工程でフォトレジストのプロファイルが設定されます。ウェーハの温度が5°Cも変動すると、CDがずれたり、オーバーレイが悪化したりして、高額な再作業が必要になります。私たちは、そのような不確実性を解消するために、均一な温度でフォトレジストを焼成できる装置を開発しました。
技術的...
太陽のような赤外線ヒーター
室内での暖房には、いつも何らかのデメリットがあります。暖房を強くすると、数分以内に空気がとても乾燥してしまいます。肌がきつくなったり、喉が痛くなったりします。また、サーモスタットでは問題ないと表示されていても、実際には湿度が急激に下がってしまいます。これは、いつもの問題です――暖かい空気だけど、快...
コンパクトな部屋用ヒーター
ホットヨガのクラスでは、部屋の温度が下がる瞬間に、全体的な流れが乱れてしまいます。筋肉がこわばり、呼吸も不規則になり、デトックスの効果も得られなくなります。そのため、スタジオには、迅速に温まり、安定した温度を保ち、自然な感覚を与えてくれる暖房が必要です。強制的に送風されるような暖房ではダメです。...
高精度温度制御型フォトレジスト加熱器
リソグラフィーの工程においては、焼成温度が0.5℃だけ変動しても、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。ウェーハ上のフォトレジストは、非常に厳しい温度管理が求められます。もしその条件を守れなければ、線幅の制御が崩れてしまいます。そこで、私たちは、シフトごと、サイクルごとにその条件を維持するた...
温室用ヒーター
温室では、空気の状態はとてもデリケートです。温度が下がるだけで発芽が妨げられたり、湿気が増してしまったりし、何週間もかけて行ってきた努力が台無しになってしまいます。家庭でも、赤ちゃんの世話をする際には同じことが言えます。空気を乾燥させず、酸素を奪わないような暖かさが重要です。どちらの場合も、適切な...
ベースボードヒーター
熱いシャワーから出て、冷たい床に足を踏み入れると、快適な時間を台無しにしてしまいます。バスルームでは、暖かさは贅沢品ではなく、毎日必要なものです。重要なのは、蒸気で満たされた部屋でも、電気的安全性を損なうことなく、すぐに優しい温風を提供できるヒーターを見つけることです。
技術的に重要な点 信頼でき...
デスクトップ用電気ヒーター
どの暖房機を見ても、どれも同じように見えます。安っぽいプラスチック製のケース、実際の性能とはかけ離れた宣伝文句、そして最初の1週間くらいはしっかりと暖めてくれるものの、その後は性能が低下してしまいます。企業や真面目なユーザーにとって、このような不安定さは単に厄介なだけではありません。お金がかかり、...
CMP後ウェーハ乾燥ヒーター
製造ラインでは、CMP処理後にわずかな水分が残っているだけで、研磨を経ても正常に動作しないチップができてしまいます。CMP処理後のウェーハの乾燥は、単なるオプションではなく、不可欠な工程です。
ヒーターの温度が不安定になると、表面張力によってウェーハ表面に傷ができ、その欠陥がリソグラフィ工程に影響...
ホットプレートの代わりに使える赤外線ヒーター
ファブ内では、わずか0.2℃の温度変動だけで、フォトレジストのプロファイル制御が乱れてしまいます。その結果、オーバーレイやエッチングの精度も低下してしまいます。ウェハーは温度変動を許容しません。そこで私たちは、実際の状況に合わせて赤外線ヒーターを開発しました。これにより、温度のドリフトがなく、再現...
二重チューブ型赤外線加熱ランプ
リソグラフィー工程において、95℃での低温焼成時に、たとえ半度でも温度が変動するだけで、重要な寸法制御が乱れ、現像後に不良が発生し始めます。このようなばらつきを解決するためには、ツインチューブ式の赤外線ヒーターが最適です。このヒーターは、迅速かつ均一な熱をウェハーに与えることで、熱的均一性を維持し...
環境に優しいヒーター
地下室の空気は、冷たくて重く、その場に留まり続けます。強制送風式の暖房機では、熱を放出してもすぐに冷めてしまい、壁や床が依然として湿ったままになります。単に暖かさだけでは不十分で、実際に部屋を快適にするためには、湿気対策も必要です。
技術的に重要な点 私たちの低消費電力の壁掛け型赤外線ヒーターは、...
ホテルの部屋のヒーター
寒い夜にホテルの部屋に入ると、速く感じられ、均一で、消費電力が過剰にならない暖房が求められます。赤外線ヒーターにおいて、狭い熱スポットと実際に快適な室内温度との差は通常、リフレクターの性能に依存します。当該リフレクターは幾何光学を用いて形状設計されており、ビームは一箇所に強烈な光線を投射して角が冷...
赤外線乾燥と対流乾燥のウエハ乾燥比較
ファブフロアでの重要性 ファブフロアでは、残された水分が1マイクロンでも歩留まりを損なう可能性があります。対流オーブンは、先進的なプロセスノードが要求する熱バジェットと粒子管理に追いつくことができません。ここでは、誤差の余地はありません。 実際に重要なこと 赤外線乾燥は、全体のチャンバー空気を温め...
感光材乾燥赤外線モジュール
リソグラフィフロアでは、フォトレジストのソフトベーク温度が0.5℃ずれるだけでクリティカルディメンション（CD）制御が規格外になる。ウェハの待ちが発生し、スクラップ率が上昇し、ラインは温度の不均一性にコストを支払うことになる。我々は、その不確実性を排除するために、フォトレジスト乾燥用赤外線モジュー...