リソグラフィーの工程においては、焼成温度が0.5℃だけ変動しても、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。ウェーハ上のフォトレジストは、非常に厳しい温度管理が求められます。もしその条件を守れなければ、線幅の制御が崩れてしまいます。そこで、私たちは、シフトごと、サイクルごとにその条件を維持するための高精度な温度制御装置を開発しました。
内部で重要なのは何か この装置は、直接結合型の加熱方式を採用しているため、熱の遅延が少ないです。ウェーハ全体の温度均一性は±0.1℃以内に保たれ、サイクルごとの再現性は±0.05℃以内です。温度の上昇速度は2℃/秒で、オーバーシュートは0.2℃未満です。これにより、ソフトベイクやハードベイクのプロファイルが正確に維持されます。クリーンルームクラス1～100に適合するように、低ガス放出性の材料を使用し、粒子の発生を抑える設計になっています。そのため、焼成工程によって欠陥が生じることはありません。このヒーターは24時間365日稼働し、5,000時間以上の安定した動作が可能で、強度の変動は5％未満です。
実際、フォトレジスト処理においては、温度が重要な寸法や接着性に直接影響します。焼成プロファイルが正確に制御されていれば、寸法のばらつきも抑えられ、再作業も減り、信頼できる生産スケジュールが実現できます。
迅速な温度制御によりエネルギー消費も削減され、粒子の発生も少ないため、クリーンルーム内の粒子数も適切に保たれます。結果として、一貫した線幅、少ない欠陥、そして計画通りの稼働時間が得られます。
いくつかの実用的な注意点があります。設置時には、十分な熱的接続と清潔な接続面が必要です。もし固定具が適合していないり、接触が悪ければ、均一性が低下します。このヒーターは標準的なチャックインターフェースに対応していますが、それでもチャンバーの形状や空気流れに合わせて調整する必要があります。
プロファイルを把握し、設定値を決定するために、短時間の試運転を行う必要があります。一度正しく設定されれば、この装置は工場が要求する精密さを実現してくれます。