省エネ型半導体ヒーター
なぜ、鉛フリー半導体の製造に赤外線を採用するのか? 半導体業界では、「グリーン」であり、鉛を含まない製品への移行が強く求められています。これは正しい方向性ですが、そのためには熱の扱い方を変える必要があります。 長年にわたり、多くの場合、対流式のオーブンが使われてきました。しかし、問題は、わずかなウ...
半導体ヒーター用テフロン線
半導体用ヒーターが爆発するのを防ぐ方法
半導体業界では、わずかな電気漏れだけで、大量のウェーハが台無しになってしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。だからこそ、私たちは配線には絶対に手を加えません。
私たちが使用するのは、PTFE(テフロン)コーティングされたワイヤーです。なぜかというと、この...
半導体ヒーター用熱電対
IR半導体ヒーターを使って適切な温度を維持するにはどうすればよいのか?
工場の二酸化炭素排出量を削減したいのであれば、赤外線(IR)ヒーターを使用するのが賢明です。オーブン全体を加熱してウェーハ周辺の空気まで温めるのではなく、IRヒーターは直接対象物を加熱します。
しかし、問題点もあります。単に設...
半導体クリーンルーム用トロリーヒーター
クリーンルームを本当に清潔に保つために:石英ヒーターの真実
半導体製造のクリーンルームでは、「わずかなほこり」など存在しません。もしヒーターから1マイクロメートルでもほこりが出てしまったら、ウェハーは破壊されてしまいます。そう簡単なのです。
だからこそ、私たちはトロリーヒーターとして一般的なガラス...
半導体IR用のアンダーフィル硬化
バックエンドでの問題として、アンダーフィルによる空隙やフィレットの問題は、単なる見た目上の問題ではありません。これらは、電気的な不具合や機械的な疲労、実使用時の故障など、製品の歩留まりを低下させる要因となります。もし、IRを利用したアンダーフィルの硬化処理が、すべての基板上やパッケージ内で一定の温...