FOUP フロントオープニングユニファイドポッド ドライヤー

リソグラフィフロアにおける熱誤差の影響 熱誤差は許容範囲が非常に狭い。FOUPの一角が湿気を保持したり、ある部分が高温で別の部分が低温になると、フォトレジストの熱予算を超過してしまう。この影響はコーター段階では見えず、後工程でライン幅のばらつきやスカミングとして現れる。そこでFOUPドライヤーを開...