化学的な洗浄処理の後にMEMSセンサーワッフルを乾燥させる際には、熱が必要です。しかも、できるだけ早く熱を与える必要があります。しかし問題は、可燃性の溶剤がある環境でそのような作業を行うことは、まるで火遊びのようなものです。比喩的な意味ではなく、実際に爆発する可能性があるという意味です。
そのため、私たちは専用の赤外線ランプを使用します。これにより、作業場所を危険な状態にすることなく、作業を完了させることができます。
密封を徹底する 一般的な赤外線ランプは開放型です。揮発性の化学物質が充満した部屋では、これは大きなリスクです。わずかな火花や過熱でも、大惨事につながります。
そうした事態を防ぐため、私たちはランプを耐久性の高い石英やステンレス製のケースの中に収めます。これは物理的な保護装置として機能します。また、高温用のガスケットや密閉構造を利用して、ガスが電子機器に入らないようにし、シャーシ上に危険な高温域が生じないようにしています。これにより、安心して作業を行えます。
適切な温度を維持する 単に熱を当てるだけではいけません。そうするとワッフルが変形してしまいます。そのため、出力と長さの比率を慎重に調整して、安定した状態を保ちます。短波長の赤外線を使用することで、熱がワッフル表面の液体膜を素早く貫通します。これにより、ワッフルが危険な状態に置かれる時間が大幅に短縮されます。
しかし、単に設定して放置するだけではいけません。迅速に反応するPIDコントローラーが必要です。もし風量が減ったり、コンベヤーが停止したりした場合、すぐにランプの電源を切る必要があります。そうしないと、ワッフルが焦げてしまったり、ケースが破損してしまったりします。
設計上の課題 完璧なものはありません。その密封されたケースは安全性には優れていますが、熱容量が増えてしまいます。
それがどういう意味かというと、通常の開放型ランプを使う場合よりも、温度上昇に時間がかかってしまいます。そのため、工程のタイミングに少し余裕を持たせる必要があります。
最後に、ケーブルの絶縁にも注意が必要です。一部の赤外線電源装置は高周波スイッチングを使用しており、それによってノイズがMEMSセンサー装置に漏れ込むことがあります。適切な接地処理を行えば、この問題を解決できます。