クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

なぜ、空気を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を直接加熱しないのでしょうか？ ほとんどの半導体製造ラインでは、依然として強制送風式のオーブンが使われています。これは非常に時間のかかるプロセスです。まず空気を加熱し、その空気がチャンバー内を温め、ようやくウェーハが温まります。多くの待ち時間が必要です。...