真空対応の赤外線ヒーター

真空状態でシリコンウェーハを加熱する際の問題点は、空気がないということです。空気がないと対流も起こらず、放射熱に頼るしかありません。もし通常の反射材を使用すると、その貴重なエネルギーの多くがチャンバーの壁に漏れてしまいます。これは無駄遣いです。 これを解決するために、金コーティングを使用します。聞...