ウェーハ洗浄用ツールが故障しないようにするために
正直に言って、IR加熱ランプを化学的な洗浄エリア内に置くのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性の溶剤が周囲にある状態では、わずかな火花や部品の漏れでも、単なる「技術的なトラブル」どころではありません。それは大災害につながります。
私たちは、そうした状況に耐えられるようにランプを設計しています。そうすれば、夜通し心配する必要もありません。
漏れを防ぐ
最大の脅威は、化学物質の蒸気が電気端子に侵入することです。これを防ぐために、私たちは単にランプを密封するだけでなく、複数層の保護膜で包み込みます。また、端部分には耐化学性の高い材料を使用し、可燃性ガスが通過できない壁を作り出します。
さらに、石英ガラスに特殊なコーティングを施すことで、外部の保護層があっても十分な熱を得ることができます。
熱に対処する
ここでは一貫性が最重要です。ウェーハ上に熱の偏りが生じると、問題になります。そのため、私たちは精密に巻かれたフィラメントを使用して、均一な温度を維持します。
しかし、問題は、材料が加熱されると膨張したり収縮したりすることです。もし密封部分と石英管の膨張率が同じでなければ、密封部分が割れてしまいます。そして、密封部分が割れると、ランプは機能しなくなります。私たちは、これらの膨張率を完璧に調整しているので、急激な加熱や冷却のサイクルにも耐えられます。
妥協点
ただし、注意点もあります。
このような保護層を追加すると、ランプのサイズが少し大きくなります。そのため、熱源がウェーハから少し離れてしまいます。これはわずかな差ですが、重要です。
そのため、PIDの調整や電力設定を微妙に調整する必要があります。
結局のところ、私たちは、腐食性のある雰囲気に耐えられるようにランプを設計しており、かつ、電力を正確に所定の場所に送ることができます。つまり、システムに直接取り付けられ、あらゆる安全基準を満たし、かつ、プロセスに必要な熱密度を持った部品です。